Alle Metalle der Gruppen IV bis VI im Periodensystem mit Schmelztemperaturen größer 700°C (bis auf Technetium) können sowohl mittels Mikrowellen-Plasma CVD als auch mittels Hot-Filament CVD mit kristallinem Diamant beschichtet werden. Stabile Karbidbildner wie Titan oder Wolfram sind sehr gut beschichtbar. Metalle wie Eisen, Nickel und Kobalt mit metastabilen Karbiden führen zu Graphitabscheidungen und damit zu nicht haftfesten Diamantschichten. Auf den Edelmetallen (Gold, Silber oder Kupfer) wächst CVD-Diamant sehr gut, hat aber auf Grund des fehlenden Karbids keine feste chemische Anbindung.
Nach 15 Jahren intensiver Forschungsarbeiten und der Entwicklung von speziellen Hochtemperatur CVD-Zwischenschichten gelingt jetzt auch die haftfeste Diamantbeschichtung auf Stahl und Kobalt-Wolframkarbidwerkstoffen.
⇒ CVD Diamant auf Hartmetallen
⇒ Titan- und Tantal basierte CVD Beschichtungen
