Weiterentwicklung und Up-scaling des Hot-Filament Verfahrens für die Diamant CVD
Da eine Umsetzung der an Laboranlagen gewonnenen wissenschaftliche Erkenntnisse in technisch und ökonomisch funktionierende Produkte gerade im Bereich der Diamant-CVD an die passende Maschinentechnologie gebunden ist, entwickeln wir die vorhandene Hot-Filament CVD Technologie ständig weiter. So gelang der Bau einer Versuchsanlage mit der weltweit größten CVD-Diamant Beschichtungsfläche.
Entwicklungskenndaten:
- Hochskalierung der Hot-Filament Diamantbeschichtungsfläche auf bis zu 10.000 cm2.
- Flexible Kammer-Set-ups zur CVD Diamantbeschichtung von Kleinteilen (Stückgewicht < 1 g) bis zu großen Bauteilen (Stückgewicht > 40 kg).
- Reduzierung des Energieaufwandes (Elektrische Leistung pro Karat) für die Hot-Filament CVD.
- Homogenisierung von Diamantwachstumsrate und Bor-Dotierung für 2D- und 3D- Substrate.
- Reproduzierbar einstellbare Substrattemperaturen von 650 °C bis 950 °C.
- Integration von Wärmebehandlungsverfahren in den Hot-Filament Prozess.
- Entwicklung von in-situ Messtechnik z.B. online Messung der Diamantwachstumsrate.
Ansprechpartner:
apl. Prof. Dr.-Ing. habil. Stefan M. Rosiwal
Publikationen:
Self-supporting nanocrystalline diamond foils: Influence of template morphologies on the mechanical properties measured by ball on three balls testing
In: Acta Materialia 59 (2011), S. 3343-3351
ISSN: 1359-6454
DOI: 10.1016/j.actamat.2011.02.009 , , , :
Monitoring oxygen species in diamond hot-filament CVD by zircon dioxide sensors
In: Vacuum 82 (2008), S. 599-607
ISSN: 0042-207X
DOI: 10.1016/j.vacuum.2007.09.002 , , :
Improved flow conditions in diamond hot filament CVD-Promising deposition results and gas phase characterization by laser absorption spectroscopy
In: Vacuum 81 (2007), S. 619-626
ISSN: 0042-207X
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Diamond single crystal growth in hot filament CVD
In: Diamond and Related Materials 15 (2006), S. 536-541
ISSN: 0925-9635
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Chemical vapor infiltration (CVI) - Part II: Infiltration of porous substrates with diamond by using a new designed hot-filament plant
In: Diamond and Related Materials 15 (2006), S. 49-54
ISSN: 0925-9635
DOI: 10.1016/j.diamond.2005.07.010 , , :
Gas-phase characterization in diamond hot-filament CVD by infrared tunable diode laser absorption spectroscopy
In: Vacuum 80 (2006), S. 967-976
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CVD-diamond single-crystal growth
In: Journal of Crystal Growth 271 (2004), S. 425-434
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Chemical vapor infiltration (CVI)-Part I: A new technique to achieve diamond composites
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Herstellung neuartiger Substratwerkstoffe durch Infiltration mit Diamant aus der Gasphase
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Dependence of the growth rate, quality and morphology of diamond coatings on the pressure during the CVD-process in an industrial hot-filament plant
In: Diamond and Related Materials (2002), S. 589-595
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Applied Diamond Coating / Frontier Carbon Technology (Auburn)
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3D-Diamantbeschichtung von Titanbauteilen
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3D-Diamantbeschichtung von Titanverdichterschaufeln in Flugtriebwerken
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Well adherent and morphologically controlled diamond coatings on three dimensional engineering components: A physicists dream or an engineer's reality?
International Confernce on Metallurgical Coatings and Thin Films (San Diego) , , , , , :
CVD-Diamantschichten als Verschleißschutz von Metallen
2. Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik OWT'97 (Chemnitz) , , , , , :