Da eine Umsetzung der an Laboranlagen gewonnenen wissenschaftliche Erkenntnisse in technisch und ökonomisch funktionierende Produkte gerade im Bereich der Diamant-CVD an die passende Maschinentechnologie gebunden ist, entwickeln wir die vorhandene Hot-Filament CVD Technologie ständig weiter. So gelang der Bau einer Versuchsanlage mit der weltweit größten CVD-Diamant Beschichtungsfläche.

Entwicklungskenndaten:

• Hochskalierung der Hot-Filament Diamantbeschichtungsfläche auf bis zu 10.000 cm².
• Flexible Kammer-Set-ups zur CVD Diamantbeschichtung von Kleinteilen (Stückgewicht < 1 g) bis zu großen Bauteilen (Stückgewicht > 40 kg).
• Reduzierung des Energieaufwandes (Elektrische Leistung pro Karat) für die Hot-Filament CVD.
• Homogenisierung von Diamantwachstumsrate und Bor-Dotierung für 2D- und 3D- Substrate.
• Reproduzierbar einstellbare Substrattemperaturen von 650 °C bis 950 °C.
• Integration von Wärmebehandlungsverfahren in den Hot-Filament Prozess.
• Entwicklung von in-situ Messtechnik z.B. online Messung der Diamantwachstumsrate.

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  3D-Diamantbeschichtung von Titanverdichterschaufeln in Flugtriebwerken
  Workshop Hochleistungsschichten für Verbrennungsmotoren (Frankfurt/Main)
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  International Confernce on Metallurgical Coatings and Thin Films (San Diego)
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  CVD-Diamantschichten als Verschleißschutz von Metallen
  2. Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik OWT'97 (Chemnitz)