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Forschung

Zudosierung von Metallen bzw. Metallverbindungen in Diamant CVD Anlagen

 

Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.

Arbeitsschwerpunkte:

  • Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
  • Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.

Aktuelle(r) Bearbeiter:

M.Sc. Rudolf Borchardt

Publikationen: