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Zudosierung von Metallen bzw. Metallverbindungen in Diamant CVD Anlagen

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Zudosierung von Metallen bzw. Metallverbindungen in Diamant CVD Anlagen

Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.

Arbeitsschwerpunkte:

  • Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
  • Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.

Ansprechpartner:

apl. Prof. Dr.-Ing. habil. Stefan M. Rosiwal

Publikationen:

  • Glaser A., Rosiwal S., Singer R.:
    Chemical vapor infiltration (CVI) - Part II: Infiltration of porous substrates with diamond by using a new designed hot-filament plant
    In: Diamond and Related Materials 15 (2006), S. 49-54
    ISSN: 0925-9635
    DOI: 10.1016/j.diamond.2005.07.010



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