Zudosierung von Metallen bzw. Metallverbindungen in Diamant CVD Anlagen

Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.

Arbeitsschwerpunkte:

  • Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
  • Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.

Aktuelle(r) Bearbeiter:

Es konnte kein Kontakteintrag mit der angegebenen ID 120 gefunden werden.

Publikationen: