Die Zugabe von Titan oder Vanadin in den CVD-Diamantbeschichtungsprozess soll neue elektrische Zustände im Diamantgitter ermöglichen. Auch der Einfluss der Metallzugabe auf die mechanischen Diamanteigenschaften wird untersucht.
Arbeitsschwerpunkte:
- Verdampfersysteme für metallorganische Verbindungen mit Titan bzw. Vanadin.
- Kombination von Sputterverfahren mit Hot-Filament Diamant-CVD.
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Chemical vapor infiltration (CVI) - Part II: Infiltration of porous substrates with diamond by using a new designed hot-filament plant
In: Diamond and Related Materials 15 (2006), S. 49-54
ISSN: 0925-9635
DOI: 10.1016/j.diamond.2005.07.010